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萬級集成電路潔凈廠房設計裝修

來源:/ 作者:DEIIANG得創(chuàng) 發(fā)布時間:2025-07-11 11:44

萬級集成電路潔凈廠房設計裝修指南

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用于生產(chǎn)電子產(chǎn)品的潔凈廠房,是將一定空間范圍內(nèi)的空氣塵埃粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內(nèi),而專門設計建造的生產(chǎn)車間。即是具有無論外在空氣條件如何變化,其室內(nèi)環(huán)境均能具有維持原先所設定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能特點。

萬級集成電路潔凈廠房驗收標準

怎樣判斷醫(yī)院凈化工程是否達標呢,要怎樣驗收呢?小編為了解答這個疑惑特別整理了醫(yī)院凈化工程的行業(yè)驗收標準。大家快來了解下吧:

潔凈手術(shù)部(室)施工程序:
潔凈手術(shù)部(室)的施工,應以凈化空調(diào)工程為核心,取得其他工種的積極配合。潔凈手術(shù)室施工可按如下程序進行(其他輔助用房可參照此程序):

工程驗收

  1. 醫(yī)院的潔凈手術(shù)部(室)均應按本節(jié)規(guī)定獨立驗收
  2. 凈化空調(diào)工程驗收,分竣工驗收和綜合性能全面評定兩個階段
  3. 驗收的內(nèi)容包括建設與設計文件、施工文件、施工記錄、監(jiān)理質(zhì)檢文件和綜合性能的評定文件等
  4. 潔凈手術(shù)部的其他設施,應按設備說明書、合同書,由建設方對設備提供方和安裝方分別進行驗收

工程檢驗

檢測項目 要求
通風機的風量及轉(zhuǎn)數(shù) 符合設計要求
系統(tǒng)和房間風量及其平衡 符合設計要求
系統(tǒng)和房間靜壓及其調(diào)整 符合設計要求
自動調(diào)節(jié)系統(tǒng)聯(lián)合運行 正常運行
高效過濾器檢漏 無泄漏
潔凈度級別 符合設計要求
截面風速 符合標準
換氣次數(shù) 符合標準
靜壓差 符合標準
高效過濾器抽查檢漏 Ⅰ級>50%,其他>20%
溫濕度 符合標準
噪聲 符合標準
照度 符合標準
新風量 符合標準
細菌濃度 符合標準
集成電路潔凈廠房標準 集成電路潔凈廠房標準
集成電路潔凈廠房標準示意圖

萬級集成電路潔凈廠房環(huán)境設計要求

潔凈室工程又稱無塵車間工程。在高新技術(shù)產(chǎn)品加工過程中,如何滿足產(chǎn)品精密加工、小型化、高質(zhì)量、高可靠性的要求,對生產(chǎn)環(huán)境中潔凈室工程的潔凈水平提出了更高的要求。

目前,潔凈室工程技術(shù)已廣泛應用于各行各業(yè)或其他需要防止顆粒物污染和微生物污染的環(huán)境實驗室控制中。由于不同行業(yè)之間距離大,要求不同,經(jīng)營環(huán)境的內(nèi)容和目標也不盡相同,以下是我國五大行業(yè)潔凈室對工程技術(shù)要求的總結(jié):

1. 藥品生物潔凈室要求

藥品是用來預防和治療疾病,恢復和調(diào)節(jié)身體機能的特殊商品。它的質(zhì)量直接關(guān)系到人們的健康和安全。如果某些藥品在生產(chǎn)過程中受到微生物、粉塵顆粒等污染或相互滲透污染,可能會發(fā)生意外的疾病和損害。

2. 醫(yī)用潔凈室工程要求及醫(yī)學探討

以集成電路為代表的工業(yè)環(huán)境實驗室的控制多采用工業(yè)潔凈室技術(shù)和工業(yè)潔凈室工程,而醫(yī)學上多采用生物潔凈室工程進行微生物污染控制。在生物潔凈室中,這些微生物主要由細菌和真菌組成,其粒徑為0。常見細菌的粒徑為0。它們大多附著在其他粒子上。生物污染通道不僅通過空氣,還與人體、經(jīng)營者的衣著有關(guān)。

3. 精密機械和精細化工產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室工程要求

隨著科學技術(shù)的發(fā)展,許多工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)加工對生產(chǎn)環(huán)境中的粉塵濃度提出了很高的要求,這就要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度水平和各種相關(guān)物質(zhì)的供應質(zhì)量,需要對生產(chǎn)過程進行控制。例如在膠片生產(chǎn)中,如果膠片被粉塵污染,會產(chǎn)生乳化氧化、活性減弱、pH值變化等,進而影響膠片的感光度。

4. 半導體和集成電路潔凈室的工程要求

半導體數(shù)據(jù)凈化是發(fā)展半導體器件的重要基礎。目前層流罩的最高級別是航天航空艙室,基本上屬于一級,屬于面積較小的特殊領(lǐng)域。此外,生化實驗室和高精度納米數(shù)據(jù)生產(chǎn)車間對水平也有更高的要求。物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的主要方向。

5. 化妝品和食品生產(chǎn)的潔凈室要求

現(xiàn)代化妝品大多含有蛋白質(zhì)、維生素、氨基酸、植物提取物等,為細菌、霉菌等微生物的繁殖提供了有利條件。凈化設備控制產(chǎn)品(如硅片)所接觸大氣的清潔度、溫度和濕度,使產(chǎn)品在良好的環(huán)境中生產(chǎn)制造。這個空間的設計和施工過程可以稱為凈化工程。因此,微生物污染是影響化妝品質(zhì)量的重要因素。

集成電路潔凈廠房標準 集成電路潔凈廠房標準
潔凈廠房環(huán)境設計示意圖

萬級集成電路潔凈廠房設計前需要考慮的事項

我們知道潔凈廠房的建立要求是非常高的,因此,現(xiàn)在想要建設一個凈化車間,就必須從一開始設計的時候,就需要考慮全面,這樣才能保證凈化車間在施工的時候不出現(xiàn)差錯,那么,潔凈廠房設計前有哪些要求需要我們考慮呢?下面小編帶大家一起來了解下:

1. 周圍環(huán)境的要求

凈化車間設計之前,我們首先得選好地址,首先凈化車間不僅要選在一些現(xiàn)代化的工廠內(nèi)部,而且還要考慮它周圍的環(huán)境,凈化車間不能選擇在居民區(qū),因為考慮到水資源流動的問題,我們在選址的時候,不能選在任何水資源的上游。

2. 車間廠房的結(jié)構(gòu)格局

生產(chǎn)車間的建筑結(jié)構(gòu)都比較寬敞的,在設計時要充分考慮到工作人員對室內(nèi)環(huán)境的影響。生產(chǎn)車間建筑結(jié)構(gòu)比較緊湊的,設計時要特別考慮到室內(nèi)溫度,不同建筑格局對設計要求都不一樣。

3. 材料的選擇

凈化車間設計時,凈化車間墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,要選用防靜電型。

以上就是根大家介紹的關(guān)于潔凈廠房設計前需要考慮的事項方面的一些要求,從上面我們知道建立凈化車間一項復雜的系統(tǒng)工程,所以做好潔凈廠房設計前期準備工作顯得尤為重要。

集成電路潔凈廠房標準 集成電路潔凈廠房標準
潔凈廠房設計示意圖

萬級集成電路潔凈廠房電氣電路安裝要點

  1. 低壓配管配線,要特別注意工程前期配合土建按圖正確預埋的檢查,配管時電管的彎曲處不應有褶皺凹穴、裂縫等
  2. 做好電氣施工隱蔽記錄,電氣設備開箱檢查記錄,以及所有的電氣材料的出廠合格證明。試車前認真檢驗線路,做好各種絕緣、接地電阻測試,及時、認真、真實的填寫各種測試報告
  3. 對所有機械動力設備,應做好各種開箱驗收記錄,設備安裝記錄,試車測試記錄,及時、認真、真實的填寫各種測試報告
集成電路潔凈廠房標準 集成電路潔凈廠房標準
電氣電路安裝示意圖

萬級集成電路潔凈廠房排水裝修方案

應選擇無毒、不吸水不滲水、防滑、耐腐蝕、易清潔、防靜電的地面材料,地面還應有相應的坡度。

集成電路潔凈廠房標準 集成電路潔凈廠房標準
排水裝修方案示意圖

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